SOI工艺及注意事项

LDJK · 发表于 2014-6-10 10:53:36

terry

ztt713713 · 发表于 2014-10-9 01:36:28

回复 1# terry8876

关于SOI（silicon on insulator绝缘硅）MUMPs工艺流程

SOIMUMPs工艺流程从SOI晶圆开始，包括处理晶圆层（400um固定厚度），埋氧化层和器件层。有10微米、25微米两种器件层厚度可选。在SOI晶圆每面使用一步光刻工艺，SOIMUMPs允许设计者从SOI晶圆的两侧蚀刻到埋氧化层，能够制造通孔和光通路。两个金属层，一层可以形成键合焊盘，另一层可以形成反射层，都包括在标准工艺流程中。SOIMUMPs工艺流程的最小特征尺寸为2微米。可以使用SOIMUMPs工艺流程加工的器件包括：陀螺，光学器件和显示器件等。

weixiaozdl · 发表于 2015-4-3 11:49:58

多谢各位的讨论，现在正需要了解

peterlin2010 · 发表于 2015-4-18 07:02:55

how about TSMC SOI process ??

有其他家有SOI嗎?

power2268 · 发表于 2015-7-23 11:10:19

入门难呀

578738434 · 发表于 2015-12-24 08:35:08

回复 10# 风神一笑

搭车请教一下，SOI版图和CMOS工艺版图只有栅不一样吗？SOI工艺中不是已经没有阱了吗，是不是画的时候正常画，不需要再画阱了，那STI层在版图中不用体现吧？谢谢谢谢！

peterlin2010 · 发表于 2017-12-26 23:22:03

回复风神一笑

搭车请教一下，SOI版图和CMOS工艺版图只有栅不一样吗？SOI工艺中不是已经没有阱了 ...
578738434 发表于 2015-12-24 08:35

登录/注册后可看大图

一般SOI 就是底部隔离, 至於DEVICE应该类似　CMOS
只有UHV 部分可能不是.

550V高压SOI-LIGBT器件ESD响应特性及模型研究

艹天道 · 发表于 2018-1-11 20:05:59

国内SOI基本都是PD-SOI， FDSOI应该是没有

zhangyang370281 · 发表于 2021-3-10 23:03:48

fuyibin 发表于 2012-3-26 12:59
回复 1# terry8876

SOI么有用过，以前在学校里学过

SOI工艺的NMOS和PMOS也是四端口器件，是有衬底的，而且由于存在BOX层，衬底很适合做衬底偏压（将衬底理解为背栅），可以在高性能和低功耗之间平衡

周蕴言 · 发表于 2023-7-7 10:10:31

peterlin2010 发表于 2015-4-18 07:02
how about TSMC SOI process ??

有其他家有SOI嗎?

towerjazz SOI

账号		自动登录	找回密码
密码			注册

[解决] SOI工艺及注意事项

浏览过的版块