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楼主: jiangnancai

[原创] 现在8inch的主流工艺不需要外延层(epi)吗?

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发表于 2012-1-4 22:38:08 | 显示全部楼层
我也不知道啊。
发表于 2020-9-9 14:45:54 | 显示全部楼层


   
chendiyi 发表于 2012-1-1 12:56
epi纯度高,用CZ法拉出的Wafer纯度不高,参杂也不会非常均匀。一开始使用epi主要是用于提高Bipolar集电极的 ...


请问您知道一般0.18um 的BCD工艺EPI一般做多深吗?有几微米呢?
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