MOM电容与MIM电容的区别

tuohong · 发表于 2011-11-7 16:57:31

MIM电容不是Mn和Mn-1想程的，但是是用这两个层次做上下级版是没错的：）

tjuhxz · 发表于 2011-11-9 00:13:40

因为M和M-1层金属之间的氧化层较厚，所以挖槽在下面形成电容上极板，形成的电容容值更大

jeffcui18 · 发表于 2011-12-29 13:28:41

MOM的layout画法可以在我签名的网站里搜索MOM找到

hiky · 发表于 2012-3-22 09:24:06

LS你的个人网站还存在吗？

e07610230 · 发表于 2012-3-27 19:38:43

回复 13# jeffcui18

您好，请问这个怎么连接，需要正负极的。http://bbs.eetop.cn/thread-326070-1-1.html

demonsolar · 发表于 2012-3-28 16:12:51

回复 9# ptadx

MOM电容你想用哪几层金属你可以自己调节的，PDK里头有这个选项的。

elva22965 · 发表于 2012-4-8 00:01:27

MOM 是tsmc的说法： metal oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap，
可能任何工艺 ...
icfbicfb 发表于 2011-9-13 16:42

登录/注册后可看大图

10几倍这个说法我不赞同，一般顶铝是下层铝的几倍就不错了，主要是减小铝电阻，增大单位电流密度，MIM在xfab看过，是一层铝与一层特殊的夹层铝形成的电容。

tianruo · 发表于 2012-4-11 16:22:55

是的。mim层很薄，不在工艺描述的1p6M或者1p8M中的metal中。特别的一层。

joansoso · 发表于 2012-11-1 18:41:46

解释的不错

math123 · 发表于 2013-12-17 22:31:53

在网上搜索到一篇帖子，讨论得很详细

[制程] MIM与 MOM

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