有做MEMS 仿真的吗？

liujunhit · 发表于 2010-12-23 18:46:52

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做MEMS 仿真用什么软件最好？

lvyuze · 发表于 2010-12-24 21:04:18

HFSS

chaowei · 发表于 2011-1-9 15:28:23

商业的有coventorware，mems pro， IntelliSuite 一般的有限元软件有Ansys, Comsol
做结构的电磁仿真用HFSS的多

staric · 发表于 2011-2-13 22:57:58

请问做mems的电路如何仿真？MEMS部分用宏模型来替代吗？

molteza · 发表于 2011-5-15 18:09:08

mortezajon · 发表于 2011-7-8 02:59:15

yangxuan3108 · 发表于 2012-10-16 10:06:51

coventorware是一个MEMS集成设计的软件，它有系统级仿真和有限元仿真，并且可以设计工艺流程和画版图，还比较好用

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[讨论] 有做MEMS 仿真的吗？