silvaco做液态POCL3的扩散模拟

yyh2010 · 发表于 2010-1-8 16:13:28

您需要登录才可以下载或查看，没有账号？注册

×

请教关于silvaco做液态三氯氧磷扩散模拟,因为过程中伴随通O2,不知道有谁了解

xin123 · 发表于 2010-4-25 19:22:21

期待牛人来解答

heimareed · 发表于 2012-1-9 23:20:37

同样求解。
貌似可以做。但是需要知道N2中携带POCl3的比例。
见论坛里面有人提过有文献的。正在寻找中……

heimareed@126.com

maochiayun · 发表于 2012-1-11 14:39:34

Using extract to get surface conc. / RS...etc.
and measure real wafer (RS).. to get your own calibration rule.

账号		自动登录	找回密码
密码			注册

站长推荐 /1