结深的测量

发表于 2009-4-14 16:23:24 | 显示全部楼层 |阅读模式

您需要登录才可以下载或查看，没有账号？注册

×

同一种器件, 走一样的process. 实际中发现,
结深差别很大, 比如有的感觉合理, 只有1um,
可是有的能有3um, 感觉明显不可能.

这种差别是测量造成的还是真实的情况就是如此?

望高人赐教! 谢谢

GMT+8, 2025-5-28 02:01 , Processed in 0.113979 second(s), 7 queries , Gzip On, Redis On.

eetop公众号

创芯大讲堂

创芯人才网

快速回复 返回顶部 返回列表

账号		自动登录	找回密码
密码			注册