同一层导线的线间电容如何计算？希望达人指点

braxi

本人正在用0.13um的工艺设计数据总线，需要计算同层总线间的耦合电容，其电路模型是怎样的？具体的模型公式是什么，有没有达人指点一下，谢谢了！

flyingwolf

   

原帖由 braxi 于 2008-9-25 15:44 发表

                               
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本人正在用0.13um的工艺设计数据总线，需要计算同层总线间的耦合电容，其电路模型是怎样的？具体的模型公式是什么，有没有达人指点一下，谢谢了！

晶圆场提供spice model document，上面有Metal对应的等效电容计算方法和参数。相对而言比单纯的理论计算准确。