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通常有两种方法,第一种是将MEMS机械部分和电路部分分别用系统传递函数表示,然后再Matlab中用simulink仿真 ... st863 发表于 2012-2-28 16:44 登录/注册后可看大图
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一般用pspice做电路方面的噪声方针,机械的可以用matlab。你将两者联合起来就ok husthuming2004 发表于 2012-4-30 23:37 登录/注册后可看大图
方法有很多,利用RLC建模,利用Verilog—A硬件描述语言描述MEMS模型,提出MEMS的传递函数在SPECTRE,HSPICE ... spicevision 发表于 2012-6-11 21:58 登录/注册后可看大图
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